北京北方大河仪器仪表有限公司

真空接触材质      不锈钢1.4307、镍，钨，玻璃
测量范围          1000到1×10-4mbar（750到1×10-4torr），过压4bar
精度              1000到20mbar:±30%读数
20到2×10-3mbar:<±10%读数
<2×10-3mbar:<factor 2
重复性            ±2%读数
响应时间          <100ms
供电电压          20到30VDC
电气连接          VSP63D/DL,VSP64D/DL北京北方大河仪器仪表，:SubD,15pol.,male,lockable
VSP63E,VSP64E:M12圆形接头,female,lockable
1x标准A,5针,2x密码D,4针
电流              2.5W，同时0.8Wf.EtherCAT/继电器/LCD
操作温度          5到60℃（相对湿度80%@30℃，无冷凝）
存储温度          -40到65℃
烘烤温度      法兰（电气分离）上的温度125℃
输出信号          0到10VDC，测量范围1.5-8.5VDC，log.，1V/等级
负载电阻>10KΩ(VSP63D/DL,VSP64D/DL)
串行接口          RS485:9.6kBit/s到115kBit/s，开关地址1-16
开关点            2个开关继电器，50VAC/2A,30VDC/2A,60VA
真空连接          DN 16 ISO-KF（VSP63),DN 16 CF-F（VSP64)
防护等级          IP54（VSP63E,VSP64E北京北方大河仪器仪表),IP40(VSM77D/DL,VSM79D/DL)

重量              190克

输出（V)
压力（hPa）

订货代码：
·VSP63D
Pirani真空计，1000到1×10-4mabr，DN 16 ISO-KF连接，输出0-10V 和RS485
·VSP63DL
同VSP63D，带LCD显示
·VSP63E
同VSP63D，RS485输出和EtherCAT
·VSP64D
Pirani真空计，1000到1×10-4mabr，DN 16 CF-F连接，输出0-10V 和RS485
·VSP64DL
同VSP64D，带LCD显示
·VSP64E
同VSP64D，RS485输出和EtherCAT

配件：
·W1515002
带VD12和VD10的真空计VSP63D/DL和VSP64D/DL的连接线，线长2米
·W1515006
同W1515002，线长6米
·W1515020
同W1515002，线长20米
·B_VSP63
传感器探头，DN 40 ISO-KF，用于VSP63
·B_VSP64
传感器探头，DN 40 CF-F，用于VSP64